电子级水
更新时间：10-07 , 2015 / 865 次阅览
GB/T 11446.1—1997
- 范围
本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则。
本标准适用于电子元器件生产和清洗用水。
- 引用标准、
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB/T 11446.3-1997 电子级测试方法通则
GB/T 11446.4-1997 电子级水电阻率的测试方法
GB/T 11446.5-1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T 11446.6-1997 电子级水中二氧化硅人分光光度测试方法
GB/T 11446.7-1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法
GB/T 11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.10-1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
- 定义
本标准采用下列定义
- 电子级水 electronic grade water
制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水。
- 电阻率 resistivity
在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号
表示，单位为
。Cm，纯水的理论电阻率为18.3M
。cm（25℃）。
3.3 全硅 total silicon
水中可深性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。
- 可溶性硅 soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。
- 微粒性物质 granular matter
除气体以外，以非液态分散水中，并形成非均相混合物的物质。
- 总有机碳(TOC) total otganic carbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
- 吸附 absorption
某些多孔性粒状物质由于表面活性作用具有吸着某些物质的能力。
- 凝聚 coagulation
在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。
- 絮凝 flocculation
水中和微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除支水中更细的微粒。
- 砂滤器 sand filter
用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。
- 活性碳过滤器 activated carbon filter
装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有面物和过量的残余氯。
- 离子交换 ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化。
3．13 去离子水 deionized water
经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。
- 再生 regeneration
离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。
- 复合床 compiex bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两面三刀个柱而被纯化。复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作简单。
- 混合床 mixed bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦。
- 电渗析 electrodiaysis
一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室。水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜;阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。
3.18 反渗透 reverse osmosis
亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的。
3.19 反渗透膜 reverse osmosis membrane
用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0.02µm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。
- 微孔膜滤器 membrane filrer
一种平均孔径（直径）大于0.01µm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。
- 超过滤 ultrafiltration
一种过滤方法，在一定压力下水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。
3.22 终端 terminal
高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。
- 分类
- 电子级水分为四个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级。
- 标记
Ⅰ级电子级水标记为：EW-Ⅰ;
Ⅱ级电子级水标记为：EW-Ⅱ;
Ⅲ级电子级水标记为：EW-Ⅲ;
Ⅳ级电子级水标记为：EW-Ⅳ;
- 要求
电子级水的技术指标应符合表1和规定。
表 1 电子级水的技术指标
|
|
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ; |
EW-Ⅳ; |
|
电阻率 |
18以上 |
15 |
12.0 |
0.5 |
|
全硅，最大值，µg/l |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
＞1µm微粒数，最大值，个/ml |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
|
细菌个数，最大值，个/ml |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
铜，最大值，µg/l |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
锌，最大值，µg/l |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
镍，最大值，µg/l |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
钠，最大值，µg/l |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
钾，最大值，µg/l |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值，µg/l |
1 |
1 |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，µg/l |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值，µg/l |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值，µg/l |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
总有机碳，最大值，µg/l |
20 |
100 |
200 |
1000 |
- 试验方法
- 电阻率
电子级水的电阻率按 GB/T 11446.4—1997的测试方法进行测定。
- 全硅含量（以二氧化硅计）
电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按 GB/T 11446.6—1997的测试方法进行测定。/
- 微粒数
电子级水中微粒按GB/T 11446.9—1997的测试方法进行测定。
- 细菌总数
电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10—1997的测试方法进行测定。
6.5 痕量金属含量
电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5—1997的测试方法进行测定。
- 氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量
电子级水中氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子等阴离子的含量按GB/T 11446.7—1997的测试方法进行测定。
6.7 总有机碳含量
电子级水中总机碳含量按GB/T 11446.8—1997的测试方法进行测定。
- 检验规则
- 检验部门
电子级水和检验均应在制造厂的水质检验部门进行。
- 检验分类
电子级水的检验分为交收检验和例行检验。
- 交收检验（抽验项目）
- 电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。
- 在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项指标不合格，应提出改进措施到水质合格。
- 例行检验（全检项目）
例行检验每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。
- 检验项目为表1规定的全部技术指标要求，
- 在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有一项以上不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项以上指标不合格，应提出改进措施直到水质合格。
8 采样、贮存、运输及标志
8.1 电子级水的采样、贮存运输按GB/T 11446.3—1997的规定。
8.2 标志：在用水终端采样进行检验时，水质合格后应附有合格证，合格证应注明
a) 名称及通别;
b) 各项技术指标;
c) 制水单位;
d) 供水日期;
e) 检验员签章及检验日期。
